根據目前的技術水平，臭氧的生產原料分為空氣、純氧氣、液氧三種。
采用液氧一般適用于中小規模(臭氧量<100g/h)，采用變壓吸附法或負壓吸附法現場制取純氧，適用于臭氧量>100g/h的規模。利用干燥空氣制取臭氧獲得的臭氧濃度一般在1%～3%；而利用純氧或液氧生產的臭氧濃度可達10%左右，而且空氣制取臭氧的電耗約為另外兩種方法的2倍。
臭氧發生器的氧化消毒特性：
①臭氧作為高效的無二次污染的氧化劑，是常用氧化劑中氧化能力最強的，其氧化能力是氯的2倍。
②臭氧消毒受pH值、水溫及水中含氨量影響較小。
③臭氧去除微生物、水草、藻類等有機物的嗅、味，效果良好，脫色能力比Cl2和ClO2更為有效和迅速。
④投加臭氧能改變小粒徑顆粒表面電荷的性質和大小，使帶電的小顆粒聚集；同時臭氧發生器氧化溶解性有機物的過程中，還存在“徽絮凝作用”，對提高混凝效果有一定作用。
⑤臭氧消毒效果好，劑量小，作用快，不產生三氯甲烷等有害物質，同時還可使水具有較好的感官指標。
⑥臭氧能將水中不易降解的大分子有機物氯化分解為小分子有機物，并向水中充氧使水中溶解氧增加，為后續處理（特別是生物處理）提供了更好的條件。?
為了避免生成三氯甲烷難以去除，在原水腐殖質、藻類、酚含量高的水廠，建議使用臭氧進行預處理。水處理中采用臭氧消毒要比采用ClO2成本略高，但從水質來講，采用臭氧發生器要比采用ClO2好。就經濟水平而言，這兩種改進水質的方法都是可以接受的，各水廠可以根據具體情況采用相應的措施。
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